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直线栅尺应用全攻略｜高精度测量核心器件

摘要直线栅尺为广大加工机行业所熟知，经常被应用于数控机床及高精度测量设备上，来检测直线位移或是角度位移。

　　【机床商务网栏目科技动态】直线栅尺为广大加工机行业所熟知，经常被应用于数控机床及高精度测量设备上，来检测直线位移或是角度位移。

　　作为一把“尺子”，直线栅尺自身的精度固然决定了数控机床的品质。在车床、铣床等通用机床，以及包括专有设备在内的所有机床、专业机械、半导体制造装置，精密测量仪器等方面，直线栅尺已经逐步替代了传统的刻度盘定位操作，大幅提高了机器的工作效率。

　　三丰CMM均采用自社研发的栅尺保证高精度测量

　　直线栅尺的应用

　　01、半导体装置用于切割锯的定位

　　02、曝光装置用于扫描台的定位

　　03、电子显微镜用于掩膜的观测/电路图案的测长等

　　04、各种NC机床用于高精度全闭环控制

　　05、电子元件安装机用于电子元件的高速、高精度安装

　　06、FPD检查装置用于缺陷检查、修复定位

　　栅尺的一条龙生产

　　三丰栅尺在日本宇都宫事业所的清原生产部一条龙生产，这里集线性编码器用玻璃栅尺的制造、电装部件的组装、产品的组装、检查于一身，并运用这一优势，不断地推进栅尺的高精度化和质量的提升。

清原生产部的地下研究楼

　　具备高精度刻度加工、精密测量所需要的环境

　　利用清原稳固的地基和地下9m稳定的环境特性，可以大限度抑制全年温度、湿度的变化和外部振动的传播。在这栋研究楼中开展的标准刻度的制作、相关精度评估及各种研究，是线性栅尺的精度、品质的保障。

　　三丰栅尺的高信赖性

　　线性编码器的精度保证，需要高度可靠的评估系统。

　　清原生产部的地下研究楼内设有自主开发的超高精度测长机，作为线性编码器评估系统，该设备不仅拥有地下稳定的周围环境，而且实现了激光干涉测长光路的真空化，大限度排除了不确定性因素。

高可靠度的评估系统

　　该设备的误差达到世界级水平，这在间的相互比较中也得到了确认。凭借高超的技术水平，曾荣获2004年度精密工学会论文奖、2005年度发那科FA机器人财团FA论文奖。

　　可追溯性

　　三丰直线栅尺可溯源到日本国家基准。

▲栅尺的溯源体系图

　　栅尺的分类

　　线性编码器根据控制方式的不同，外观结构的不同，原点确立方式，检出原理等可分为多种类型。

　　分类如此“复杂”，怎样才能选择出适合的那款栅尺呢？下一期将介绍栅尺的选型，敬请关注哟。

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